真空泵在泄漏检测仪器中的应用

    真空泵在泄漏检测仪器中的主要功能是产生足够的真空度以检测泄漏现象。其中，油润滑旋片真空泵是最常用的类型之一，其工作原理基于机械吸气和排气。

油润滑旋片真空泵的工作原理

    这种泵通过旋转带有槽的圆柱形转子来工作，转子内装有金属或石墨叶片。当转子旋转时，腔室体积增加，气体通过进气口进入。然后气体被压缩并通过排气口排出，完成吸气过程。

    涡轮真空泵

    除了油润滑旋片泵外，涡轮真空泵是另一种可行的选择。它们也基于气体压缩原理工作，但利用旋转的叶轮来形成可变体积的腔室。这些泵通常体积更小、效率更高，并且能够达到更高的真空度，使其在需要精确测量的应用中非常具有吸引力。

    真空法

    真空法涉及在测试对象内部产生真空，同时从外部引入测试气体。泄漏检测器与真空系统并行工作。一旦发生泄漏，气体进入产品的腔室并被泄漏检测器检测。根据记录的测试气体的流速来确定泄漏的严重程度。

施加测试气体的方法

    封闭法：将测试物品放置在充满测试气体的密封外壳或室中。通过物体确定泄漏率。

    吹气法：适用于定位泄漏，使用加压枪将压缩气瓶中的压缩气体局部注入测试气体中。

    在油润滑旋片泵和涡轮泵之间的选择取决于多个因素，包括泄漏检测器的大小、所需的真空度、泵速以及安全要求。

泄漏检测程序

    为了检测真空系统中的泄漏，需监测控制区域内氦气分子浓度的增加。

    首先，必须对样品进行充分减压，以确保泄漏检测器（真空法）的正常工作。对于大型样品，使用最大压力为1毫巴的独立预真空泵来产生真空。对于小型样品，泄漏检测器的内置真空系统可以直接抽空系统，以在检测室中达到最小压力。

    一旦系统在分析室中达到所需压力，泄漏检测过程开始。如果系统中存在氦气分子，当它们进入泄漏检测器时，将被调谐到氦气原子量的质谱仪检测到。这些信息立即传输到连接到泄漏检测器的控制器，然后输出记录的泄漏值。最后，必须识别并消除测试系统中的故障，以确保其满足预期的密封性能。